近期,在江北新区研创园光电科技园内,一则“追光逐电”的故事仍在精彩上演。故事的主角是国内首条“薄膜铌酸锂+X”异质集成光子芯片产线,由南智先进光电集成技术研究院(以下简称“南智光电”)搭建,当前已形成量产能力。
日前,换上鞋套后,跟随南智光电技术研发部负责人汤济走进产线参观通道,各个实验室内,身着洁净服的工艺工程师“全副武装”,正神情专注地操作各类仪器。
光刻、刻蚀、镀膜……光子芯片产线并非传统意义上的流水线,而是由一个个功能各异的实验室组成。“现在产线的运行情况非常稳定,已经交付了2批薄膜铌酸锂光子芯片产品,不仅实现了技术孵化向规模化生产的跨越,还为行业提供了高性能的光子芯片解决方案。”汤济介绍。
近年来,光通信作为AI运算的基石,其重要性日益凸显。早在2018年,中国科学院院士、南智光电研究院创始人祝世宁就带领着团队勇闯“无人区”,聚焦光电产业里的新赛道铌酸锂材料领域。
彼时,汤济正在中国科学院大学攻读化学博士学位,对他来说,铌酸锂更像一位熟悉的“老朋友”。2019年底,刚毕业的他决定加入南智光电,发挥专业所长,投入晶圆铌酸锂核心工艺的研究工作。
试验,修改;再试验,再修改……从最初的仿真设计工作到单步工艺开发,再到拥有整合工艺方案的能力,磨砺多年,如今这位“90后”博士已成为团队技术方向带头人,团队成功推出超高带宽铌酸锂调制器芯片,性能指标在国际市场上处于领先地位。与此同时,他也见证了南智光电由研到产的“高光”时刻。
过去,南智光电主要从事科研成果转化、概念验证以及初创企业的样品开发工作。为了进一步推动薄膜铌酸锂光子芯片产品的量产,南智光电积极向“研发+量产代工”转型,加速创新产品研发及产业技术落地。在新区“研产贯通”行动的助推下,光子芯片产线比原定计划提前3个月实现了产线竣工交付。
“在铌酸锂芯片领域,我们克服了材料特性带来的加工难点,从4英寸晶体加工技术成熟,到开发出8英寸晶体加工,目前已经初步建立了技术优势,客户包含企业、高校、研究所,需求非常旺盛。”汤济说。